Cod濕度傳感器中元件的電阻率和電阻值都發生變化，利用這一特性即可測量濕度，濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酪酸醋酸纖維等。當環境濕度發生改變時，濕敏電容的介電常數發生變化，使其電容量也發生變化，其電容變化量與相對濕度成正比。主要是根據測定材料的在不同濕度時伸縮不同進行濕度測量, 材料選用毛發、尼龍絲等。由于材料的伸縮具有遲滯現象,且測量精度不高,因此,該種傳感器僅在常溫和常濕的環境下具有實用價值。
    當空氣中的相對濕度發生變化時, 兩個溫度傳感器就會出現差值，從而測定空氣中的相對濕度。該種傳感器可以達到較高的精度，由于體積比較大, 且*補償, 功率消耗較大，使得該類傳感器在流動性大及微型化領域不能滿足要求。
    Cod濕度傳感器利用吸濕性能較好的物質吸附水汽后電阻發生變化而制得, 但由于電阻受溫度影響較大，固有的溫度系數使其不能工作在很寬的溫度范圍內，利用感濕材料吸水后介電常數發生變化而改變電容值。具有體積小、響應快、抗電磁干擾、抗高溫、動態范圍大、靈敏度高等優點,使其在惡劣的環境中發揮天然優勢。在環境測量領域，光電技術的應用解決了濕敏元件長期暴露在待測環境中，容易被污染及腐蝕。